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STACIS II 主动隔振系统

  • 型  号:STACIS II
  • 名  称:STACIS II 主动隔振系统
  • 英文名称:
  • 品  牌:TMC
  • 发布时间:2017-3-30 9:41:20
  • 咨询热线:0532-80982936
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STACIS II 主动隔振系统

特点&优点

1、从0.6Hz开始隔离振动,1Hz时可隔振40%到70%
2、2Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供超过90%的振动隔离
3、减少工厂地板铺设成本,使设备能够安装在较强振动环境中
4、主动带宽:0.6Hz到150Hz
5、设备制造商竭力推荐
6、六自由度活动硬性底座设计,无气浮支撑
7、鲁棒控制系统,不需要预先调适
8、可与设备内置隔振系统兼容
9、当环境振动水平随时间增加时,确保设备满足自身的振动标准
10、利用TMC Stacis®技术通过压电陶瓷致动器来消除振动
11、带有基于计算机的图形用户界面(GUI)的数字控制器
12、在旧的、有噪音的地板上也可以安装使用
13、兼容各种地板的高度和类型
14、TMC关注Stacis III隔振性能,提供全面的售后服务
15、通过ROHS认证
 

      STACIS®III是最先进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和最先进的压电致动器,STACIS通过连续测量地板活动,扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离。
       最初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离, STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
       Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载最新高效的双核处理器,前后面板上都配备以太网和USB串口,新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。
       Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例,对于大部分振动敏感仪器来说都是最理想的振动消除系统。

Stacis®III优势

 STACIS相比于气浮支腿更加坚固可靠,且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑,并且与主动的气浮系统不同,STACIS可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面,且两个隔振系统相互兼容。
   设计有独特的通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹,以及从2Hz开始主动振动消除性能可达到90%。

详细信息请联系我们!

 

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